什么是深次微米

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/10 17:01:28
什么是深次微米

什么是深次微米
什么是深次微米

什么是深次微米
集成电路通常把0.8—0.35 m称为亚微米,0.25 m及其以下称为深亚微米,0.05 m及其以下称为纳米级.深亚微米制造的关键技术主要包括紫外光刻技术、等离子