请问激光传感器的最小测量距离是多少?具有多大的量程及分辨率?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 04:00:41
请问激光传感器的最小测量距离是多少?具有多大的量程及分辨率?

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请问激光传感器的最小测量距离是多少?具有多大的量程及分辨率?
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率.激光传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃.